Aðallega notað til að vernda og viðhalda gripi (þar á meðal PSA lími og TAC filmu) í framleiðsluferli skautunarglerja og getur uppfyllt kröfur um stöðurafmagn.
Leiðarfilma fyrir skautunarferli - GM13A serían
Grunnfilma fyrir skautunargler - GM80/YM31/YM31A serían
Grunnfilma fyrir losun skautunarefnis - GM81/GM81A serían
Eiginleikar | Eining | GM13A | GM80 | YM31 | YM31A | GM81 | GM81A | ||||
Þykkt | míkrómetrar | 19 | 38 | 38 | 38 | 38 | 38 | 50 | 38 | 50 | |
Mistur | % | 2,87 | 3,06 | 3,86 | 3.23 | 2,95 | 4.01 | 4.33 | 3,64 | 4.13 | |
Rýrnun (150℃/30 mín.) | MD | % | 1,07 | 0,9 | 1.16 | 1,26 | 1.24 | 1.11 | 1.02 | 1.15 | 1,06 |
TD | % | -0,09 | 0,18 | 0,06 | 0,02 | 0,03 | -0,07 | 0,03 | 0,08 | 0,06 | |
Eiginleiki | / | Mikil hreinlæti | Sjaldgæfir yfirborðsgalla | Yfirborðsþol 105−7Ω | Litlaus, gegnsæ, yfirborðsþol 109-10Ω | Frábær hitaþol, fáir gallar á yfirborði | Stefnumörkunarhorn ≤12°, fáir yfirborðsgalla |